2011年4月8日在杨文琴教授的联系下，08级光信息科学与技术专业第一团支部、第二团支部在汪丽芳、林琦老师的带领下，对厦门大学萨本栋纳米技术研究中心进行了参观学习。萨本栋研究中心拥有国际先进的半导体实验设备，其半导体制作工艺与微纳米研究开发均处于全国领先水平。

该中心主要从事微纳米加工技术、材料以及器件与系统的研究与应用目前正在进行与生物医学工程、航空航天、通讯工程、汽车工业、新能源等行业相关的微纳米器件及系统的研究和开发。

接待老师谷丹丹先向同学们介绍了萨本栋校长生前的主要事迹以及建筑这栋楼的意义，并带领大家进入一楼实验室走廊观看实验仪器。中心面积达3800平方米的大楼内拥有100级、1000级、10000级共计660平方米的工艺洁净室、各种高纯气体供气系统、18MΩ纯水系统、三废处理系统、防震工作台等。

在谷丹丹老师的引领下，同学们依次参观了中心各种微机电工艺设备，如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、全自动清洗甩干机、AXTRON MOCVD金属有机物化学气相沉积系统、4470微控四管扩散炉、4371LPCVD低压化学沉积系统、OMICRON分子束外延系统、JS-3X100B磁控溅射台、、ZZSX500C电子束蒸发台、JC500-3/D磁控溅射镀膜机、D41-11A/ZN四探针电阻测试仪等。

这次厦大实验室的参观，同学们受益匪浅，不仅对所学的专业课程有了更深的理解，也开阔了视野，了解了纳米世界研究的热点，拓展了对微观领域研究的认识，进一步学习了大型光学仪器的使用与维护，为将来走进企业，从事光信息行业的工作奠定了基础。

去厦门咯！